ICP-AES法是20世紀60年代提出、70年代迅速發展起來的一種新型分析技術。在分析上的應用領域雖然十分廣泛，但是還存在著以下缺點：

(1)對于固體樣品一般需預先轉化為溶液，而這二過程往往使檢出限變高。

(2)作氣體氬氣消耗量大導致儀器運行成本增加。

(3)進樣系統霧化效率不高導致部分元素在痕量時無法檢出。

(4)ICP光譜儀發射光譜法只能測定樣品中元素的總量，不能對元素進行價態分析，除非和其他分析儀器聯用。

(5)RF發生器電路較復雜，容易產生故障導致儀器停機，并且儀器價格比較高、對實驗室要求也高、需要單獨的電源和接地以及排風系統，所以前期投入比較大。

但是隨著科學技術的日新月異的發展，ICP-AES技術也在不斷跟新，上述缺點正在慢慢改善。

虛擬儀器技術的應用可使ICP-AES儀器制造廠家維護人員遠程連續觀測等離子體變化，如果發現等離子體有異常現象，可在第一時間通知用戶，使用戶采取相應措施來減少儀器故障的發生，對儀器實行了遠程診斷。用戶通過觀測相機，可以在儀器電腦上實時觀測等離子體的工作狀態，可以實時調節不同的觀測位置，進行不同比例縮放，可以錄像，得到等離子體的實時狀態過程。還可以通過連續的等離子觀測，使遠程診斷功能成為可能，以最大程度增加正常運行時間。通過該觀測相機，可以讓操作者清楚地了解樣品溶液導致的等離子體變化過程及狀態，簡化方法建立過程，大大方便操作者對檢測方法的開發和儀器工作狀態的判斷。

電子霧化器系統通過電子震動原理和惰性噴霧頭，可使形成的霧滴直徑不大于6um，這樣大小的霧滴可快速干燥、霧化和電離，和傳統霧化系統相比霧化效果更佳，并為儀器的分析測試的檢出限降低了2倍～4倍。該霧化器所產生的氣溶膠顆粒具有強烈的一致性并且粒徑完全控制在不超過10um以下的很窄范圍，不再需要高壓霧化氣流，可以在現有基礎上提高了4倍的信噪比，對于微量元素的檢測有更大的好處。

平板等離子技術的應用代替了螺旋負載線圈系統，氬氣的消耗量減少了近1/2。該技術和傳統技術相比，可形成同樣強健、同樣耐高鹽基體的等離子體。這種全新的射頻方式還可使RF高頻發生器免維護，最大程度降低了操作成本并對使用性能沒有影響，該技術拋棄了傳統的螺旋線圈的設計。在傳統的螺旋線圈設計中，線圈需要使用循環水進行冷卻，存在多種由于循環水導致的問題，而新的平板等離子體技術采用兩塊對稱的長壽命鋁板，無需進行任何冷切，不存在更換問題。

采用光譜最佳化程序自動尋C.N.Ar線進行峰位校正光譜方程及波長的準確性來代替傳統的汞燈描跡定位技術，確保波長重復性，從而確保了更好的分析重復性。

采用高刻線全息光柵以提高光學系統質量：高刻線(最高可達4960刻線/mm)、大面積的離子蝕刻閃耀全息光柵，可使ICP儀器具有很高的分辨率，具有光強高、散射光極低的光學質量